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在汽車(chē)和運(yùn)輸、微電子、制造和醫(yī) 療器械等行業(yè)中，產(chǎn)品及其組件的性能和使用壽命非常容易受到污染的影響。

徠卡 DM6 M LIBS 材料分析解決方案 (參考圖 1) 等二合一解決方案將光學(xué)顯微術(shù) (目視分析) 和激光誘導(dǎo)擊穿光譜 (LIBS) (化學(xué)分析) 相結(jié)合。與掃描電鏡檢查法 (SEM) 和能 量色散譜 (EDS) 等其他方法進(jìn)行比較，在高 效清潔度分析中占據(jù)著優(yōu)勢(shì)。

查找和消 除污染源更輕松

對(duì)于技術(shù)清潔度，最終目標(biāo)是查找和消 除污染源。二合一解決方案可以用更少的時(shí)間和精力識(shí)別污染源，因?yàn)榍鍧嵍确治隽鞒痰玫搅撕?jiǎn)化。
與使用掃描電鏡檢查法 (SEM) 和能 量色散譜 (EDS) 進(jìn)行分析的不同之處在于:

> 無(wú)需樣品制備；
> 無(wú)需將樣品從一個(gè)設(shè)備傳輸?shù)搅硪粋€(gè)設(shè)備；
> 無(wú)需在濾片上重新定位感興趣區(qū)域，也無(wú)需進(jìn)行系統(tǒng)調(diào)節(jié)；
> 無(wú)需損失等待真空的時(shí)間 (分析始終在大氣條件下的空氣中進(jìn)行)

“二合一法”解決方案:顆粒成像和構(gòu)成分析

以下圖 2 所示為使用徠卡 DM6 M LIBS 解決方案對(duì)濾片上的顆粒進(jìn)行可視和化學(xué)分析的示例。

圖 2：使用 DM6 M LIBS 二合一解決方案執(zhí)行清潔度分析:
A) 檢測(cè)、統(tǒng)計(jì)和測(cè)量濾片上的顆粒；
B) 如果是金屬顆粒，選擇適當(dāng)?shù)膶?duì)比度方法可以看到顆粒的反射光；
C) 激光追蹤 ( 紅色十字準(zhǔn)線) 濾片上檢測(cè)到的顆粒，以運(yùn)用 LIBS 進(jìn)行化學(xué)分析；
D) 來(lái)自 LIBS 的元素譜清楚地表明該顆粒由鋁 (Al) 組成。

雙重高 效的總體清潔度工作流程

對(duì)于整個(gè)清潔度工作流程，往往要使用多個(gè)供應(yīng)商提供的多種儀器來(lái)執(zhí)行顆粒提取和分析。從顆粒提取到分析，在整個(gè)流程中使用來(lái)自“單一源”的一種清潔度解決方案更加方便。徠卡公司和 Pall 公司共同努力為汽車(chē)和運(yùn)輸行業(yè)提供了這樣一種獨(dú)特而全 面的清潔度解決方案。您可在下面的圖 3 中看到使用 Pall 清洗柜和徠卡 DM6 M LIBS 二合一解決方案的整體清潔度工作流程。

整套解決方案的優(yōu)勢(shì)在于更容易達(dá)到清潔度分析的最終目標(biāo):：

> 測(cè)定顆粒導(dǎo)致?lián)p壞的潛在可能性；
> 找到并消 除對(duì)產(chǎn)品性能和使用壽命構(gòu)成嚴(yán)重威脅的污染源。

圖 3：符合 VDA19 且有 效的汽車(chē)行業(yè)整體清潔度工作流程：
從濾片顆粒提取和保留 （Pall 清洗柜） 到可視和化學(xué)分析（徠卡 DM6 M LIBS 二合一解決方案）。
目標(biāo)旨在更快地找到危險(xiǎn)顆粒污染源并消 除它們。